欢迎新成员——惠然微电子技术（无锡）有限公司

惠然微电子总部位于无锡，基于自主的核心电子光学技术，为半导体产业提供高分辨、高能效的电子束量检测设备和科学仪器，拥有有效提升晶圆良率的软硬件全面解决方案。

惠然微电子基于电子光学优势生产的半导体关键尺寸量测设备(Critical Dimension Scanning Electron Microscope, 简称CD-SEM)、缺陷检测设备(Electron-Beam Inspection， 简称EBI)是晶圆生产质量控制和良率保证的关键设备，为集成电路的多层化、复杂化提供重要微观数据；与此同时，公司推出的场发射扫描电子显微镜(SEM)在半导体领域涵盖原材料、设备、芯片设计、晶圆制造、封装测试、分立器件、终端产品的生产与研发过程中发挥重要作用。

惠然微电子汇聚国内外专家及高级工程师，核心成员拥有世界一流半导体设备公司的产品研发和应用经验，致力于成为半导体产业量检测设备解决方案的领先企业!

产品介绍

产品系列一:电子束关键尺寸量测设备CD-SEM

惠然微电子 CD-SEM（关键尺寸量测设备）利用先进的电子束扫描成像技术，对光刻胶线条宽度或刻蚀后栅极线条宽度进行关键尺寸的在线测量，并与设计尺寸实时比对避免偏离，实现关键工艺参数的监控，是提高芯片制造良率、维持产品质量一致性的关键设备。主要应用于显影后光刻胶的临界尺寸测量以及刻蚀后接触孔直径/通孔直径和栅极线条宽度测量。

12 inch CD-SEM eMF 3001

6,8 inch CD-SEM eMF 2001

产品系列二电子束缺陷检测设备EBI

电子束缺陷检测设备是一种利用扫描电子显微镜在前道工序中对半导体晶圆上的刻蚀图形直接进行缺陷检测的工艺检测设备。其原理为通过聚焦电子束对圆片表面进行扫描， 接受反射回来的二次电子和背散射电子，进而将其转换成对应的晶圆表面形貌的灰度图像，通过比对晶圆上不同芯片（Die）同一位置的图像，或者通过图像和芯片设计图形的直接比对，可以找出刻蚀或设计上的缺陷。

EBI应用电子束扫描显微成像技术，对晶圆表面特征进行高分辨成像，通过先进的智能算法检测出晶圆上的电性缺陷和物理缺陷，是芯片制造过程中良率提升的关键设备。

型号：

eIB 3001 适合高分辨率检测

eIB 3101 适合高速检测

惠然微电子技术（无锡）有限公司

联系电话： 0510-82361001

电子邮箱： contact@wellrunme.com

公司网站： www.wellrunme.com

公司地址： 江苏省无锡市滨湖区胡埭镇振胡北路6号国投智园F栋

最美科技工作者丨井芯微电子技术（天津）有限公司工程师闻亮：潜心科研 矢志报国

来源：【津滨海客户端】

津滨海讯 （记者 王梓）日前，由区委宣传部、区科协、区科技局、区工信局联合评选的2022年天津市滨海新区“最美科技工作者”正式公布，在本次评选出的10名科技工作者中，井芯微电子技术（天津）有限公司（以下简称井芯微）软件研发工程师闻亮榜上有名。

潜心科研 夯实自我

记者了解到，井芯微于2020年在天津经济技术开发区成立，在新计算、新网络、新安全等有巨大潜力的领域深耕，持续开发自主替代和引领创新型产品，其“高速串行RapidIO控制器”项目曾荣获天津市科学技术进步特等奖；2021年自主高端芯片PRB0400项目斩获全国博士后创新创业大赛铜奖。

PRB0400项目能够在全国大赛脱颖而出，离不开像闻亮一样的科研工作者在科研一线的耕耘。记者了解到，闻亮是井芯微的一名软件研发工程师，自从参加工作以来，主要从事嵌入式软件开发。他积极投身科研一线，多次参与国家重大科研项目的研发，刻苦攻关技术难点，保证了芯片产品的功能可靠性与稳定性，并公开发表专利1项。据了解，其负责研发的PRB0400驱动及测试用例，难度高任务重，支撑了整个桥片项目的原型验证测试；其负责开发的SRIO EP驱动及测试用例，支撑了端点项目原型验证，并且软件稳定可靠，说明书内容充实丰富，得到了使用单位的充分肯定；其负责研发的IPMI管理软件，填补了公司关于VPX架构下的IPMI系统解决方案技术空白。

为了保证项目如期交付，闻亮刻苦攻关，每天早出晚归，更是利用晚上、节假日的休息时间不断奋斗，以饱满的态度全身心投入到工作当中。PRB0400项目的FPGA原型验证中，为了验证桥片与其他芯片对接的处理能力以及稳定性，需要构建SRIO组网压力测试实验。该实验需要多SRIO端点设备经过交换设备互相发包，涉及到的处理器种类以及板卡硬件环境较多，实验构建难度大，对全部组网器件的驱动及应用脚本稳定性均有较高要求。受硬件资源限制，为了充分利用现有板卡资源，做好充分的测试计划，保证板卡可以24小时不间断地进行拷机验证，与项目团队成员一起保证了项目按期交付。

刻苦攻关 矢志报国

近年来，国家先后推出一系列政策，为集成电路产业发展注入新动力，帮助集成电路产业在国家产业生态体系内实现弯道超车。

在这一背景下，闻亮也不断刻苦攻关，秉承芯片报国的理念，努力为祖国的芯片事业贡献自己的全部力量，为国产芯片事业发展添砖加瓦。采访中记者了解到，闻亮利用所学专业以及平时积累的知识，根据SRIO端点器件相互组网的使用经验，一点一滴不断增加组网的复杂程度，逐步化解实验测试时遇到的各种问题，成功完成组网实验的环境构建以及对接测试，目前环境可以长时间可靠运行，充分保证了PRB0400项目的网表交付的可靠性。

闻亮为人谦逊、平易近人、乐于帮助他人，在FPGA验证过程中往往遇到各种问题，他均一一化解，同事提出的测试或软件使用问题全部尽力提供指导与帮助。芯片功能测试问题无小事，遇到超出所学范围的问题，他积极寻求外协支持，努力做到全部问题不留疑点。在编写软件代码过程中，他同样力争逐行代码反复推敲，并且充分进行自检以及调试，保证软件代码质量。代码中添加充分注释，便于代码的理解与软件产品的迭代开发。

闻亮始终坚信付出就有回报，经过一点一滴的积累与实践，会得到满意的答卷。据了解，不久前，井芯微顺利完成5000万元人民币的融资。这是井芯微成立以来的首轮融资，将用于公司自主高端芯片PRB0400产品的研发、公司研发体系及开发环境的升级等，这不仅是闻亮所在的科技创新团队刻苦攻关的回报，也将对推动区域信息安全产业链构建产生积极的促进作用。（图片由企业提供）

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